四---碳-谱纯气体,品质保障-高纯四---碳

四---碳亦称全---碳、四氟甲1烷、全---碳，为非腐蚀性气体，所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜，铝等金属材料都可以使用。产品经除尘，碱洗除去hf、cof2、sif4、co2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，高纯四---碳，通过控制精馏温度，四---碳公司，除去o2、n2、h2，得到高纯cf4。由碳与氟反应，或一氧1化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟---甲1烷与反应，或四氯1化碳与---银反应，或四氯1化碳与氟1---反应，都能生成四氟1化碳。

四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源，用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。因为导致臭氧层破坏的是氟氯烃中的氯原子，它被紫外线辐---中时会分离。碳-氟键比较强，四---碳，因此分离的可能性比较低。四---碳在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，四---碳批发，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒---物。

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