




高纯四---碳在常温常压条件下化学性质稳定,高纯四---碳是一种高纯电子气体,在电子产业中需求量大。电子四---碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾---,---四---碳(cf4)的纯度和安全稳定使用。随着手机、相机、太阳能电池等消费电子产品的需求量不断---,高纯度四---碳将成为四---碳行业的主要增长动力。
四---碳亦称全---碳、四氟甲4烷、全---碳,为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用。四---碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造,四---碳批发,以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,四---碳价格,置于镍盘中,四---碳,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应。
四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。因为导致臭氧层破坏的是氟氯烃中的氯原子,它被紫外线辐---中时会分离。碳-氟键比较强,高浓度四---碳,因此分离的可能性比较低。四---碳在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒---物。
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