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特种气体的储存注意事项:根据储存的气体类型设置标牌,如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒---、空气呼吸器等设施。灭菌特种气体可杀灭---(及其内孢子)、霉菌及---,因此可用于消毒一些不---受高温消毒的物品。特种气体在太阳能电池中的应用:非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6;非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。
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