高浓度四---碳-安徽四---碳-安徽谱纯

电子四---碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一，在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻，以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾---，---四---碳（cf4）的纯度和安全稳定使用。高纯四---碳是纯度在99.999%以上的四---碳产品，是一种无色无味气体。高纯四---碳不可燃烧，在常温常压条件下化学性质稳定，在密闭容器中遇高热有危险，高浓度四---碳，不溶于水，可溶于---、等部分溶剂。四---碳作为制冷剂是一种无色不可燃气体，安徽四---碳，能够保障液体运输的安全性。在---医学中，四---碳还是一种高浓度的醉剂。由以上看出，四---碳的应用范围广泛，在下游电子产业等带动下，行业快速发展。

四---碳是目前微电子工业中用量大的等离子烛刻气体，其高纯气及四---碳高纯气配高纯阳氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强，cf4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。