目元激光混合气体的佳方案组成比例：co:4%，激---体，co2：8%，he:28%，n2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到大的输出功率，并且大切割钢板厚度达到25mm，还可以---的---工件。金属蒸汽离子激光中，---镉(he-cd)激光是主要的，---硒(he-se)、---锌(he-zn)等激光为此家族中之成员。---镉激光的325 nm紫外线，和441.6 nm蓝光，是常见的输出。加上特殊设计时，它可同时发生红光(635.6及636.0 nm)和绿光(533.7及537.8 nm)。它的短波长成分，在信息处理方面很有用。适当调配各波长的输出，几乎能够发生一切可见光的颜色，因此它的白光激光产品也是有名的。储存密度及鉴别能力的提高，使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如arf， krf， xef， krcl， xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。
激---体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯---纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯---气的纯度要求99.999%，---是产生激光的，---气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光，---激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光，可称为第三代激光。如果将---（he）---（ne）激光作为代气体激光，---激光混合气体是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------（krf）激光，可称为第三代激光。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，---是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光，---激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光，可称为第三代激光。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，激---体公司，如arf， krf， xef， krcl， xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。准分子(excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，激---体厂家，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子he2、ar2、xe2等；其英文原名为 excited dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。
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