




四---碳的密度比较高,可以填满地面空间范围,在不通风的地方会导致窒息。四---碳成品应存放在阴凉,干燥,通风的库房内,严禁曝晒,四---碳生产,远离热源。它在---中的寿命约为50,000年,增温(暖化)系数是6,500(---的系数是1)。虽然结构与氟氯烃相似,但四---碳不会破坏臭氧层。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒---物。
四---碳的密度比较高,可以填满地面空间范围,在不通风的地方会导致窒息。四---碳成品应存放在阴凉,干燥,通风的库房内,严禁曝晒,远离热源。四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四---碳是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四---碳高纯气配高纯氧气的混合体,四---碳价格,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。
随着芯片制程向7纳米迈进,细微杂质对芯片的损害更为明显,包头四---碳,电子产业对高纯电子气体的纯度要求进一步提高,在此背景下,我国高纯四---碳生产技术与产品仍有提升空间。四---碳是一种卤代烃,化学式cf4。它既可以被视为一种卤代烃、全---碳,也可以被视为一种无机化合物。零下198 °c时,四---碳具有单斜的结构,四---碳公司,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1?nm), β = 118.73° 。高纯四---碳在常温常压条件下化学性质稳定,高纯四---碳是一种高纯电子气体,在电子产业中需求量大。
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