




重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如arf, krf, xef, krcl,ne激---体, xecl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成arf*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体,对气体要求高,激光混合气配制精度要求高,高纯---纯度达99.999%,高纯氮气的纯度99.999%,高纯---气的纯度要求99.999%,---是产生激光的,---气是冷却激光器的,氮气是平衡气体,准分子激---体厂,气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤---大,能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的要求---高。20w机型可发生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可见光波长分别是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。蓝绿光波段中,而的是514.5及488 nm。---离子激光可发生337.4至799.3 nm,的是647.1 nm,其次为413.1及530.9 nm。产品中,有将氩气与---气混合的机型。
准分子(excimer)激光:准分子一词的本意,是「两个同种原子组成,而只存在于受激态的分子」,如稀有气体分子he2、ar2、xe2等;其英文原名为 excited dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽,以包含「不存在于基态,只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。铜蒸汽激光产品可发生100w以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm),金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。这两种激光有很多用途,例如血紫质衍生物(hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm,而癌细胞能吸收此物质。此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化,发生可癌细胞的物质。不过,铜蒸汽激光激起染料激光,也可得到这种光,而不必依托金蒸汽激光。此外,578 nm的激光能够除去某些---,作用优于用氩离子激光。分子气体:---激光和氮气激光是常见的分子气体激光,其主要激光光分属红外线(10,640 nm)及紫外线(337 nm)。生物组织中的水分会吸收它的10,640 nm激光光,所以能用于手术,所需激光光功率约为50w。此外,非金属材料的加工、金属表面的热处理、光谱学及光化学研讨、环境遥测、测距、激起其他激光、发生离子体(俗称电浆;plasma)等,也都可用---激光来进行。
铜蒸汽激光产品可发生100w以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm),金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。这两种激光有很多用途,例如血紫质衍生物(hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm,而癌细胞能吸收此物质。此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化,发生可癌细胞的物质。不过,铜蒸汽激光激起染料激光,合肥激---体,也可得到这种光,而不必依托金蒸汽激光。此外,578 nm的激光能够除去某些---,作用优于用氩离子激光。激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将---(he)---(ne)激光作为代气体激光,---激光混合气体是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的------(krf)激光,可称为第三代激光。
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