高浓度四---碳-四---碳-谱纯气体,气源充足_合肥无机化工原料

安徽谱纯气体科技有限公司提供高浓度四---碳-四---碳-谱纯气体,气源充足。

电子四---碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一，高浓度四---碳，在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻，以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾---，---四---碳（cf4）的纯度和安全稳定使用。在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，四---碳公司，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，经精馏而得成品。由碳与氟反应，或与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，四---碳，都能生成四---碳。

四---碳在不同的---压下呈现的状态是不同的，就像氧气在101kpa时会呈现出液态。四---碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，发挥性较高.四---碳一般认为是惰性低毒物质，四---碳生产，在高浓度下是窒息剂，其毒性不及四1氯化碳。产品经除尘，碱洗除去hf、cof2、sif4、co2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去o2、n2、h2，得到高纯cf4。