四---碳-谱纯气体,各地配送-四---碳多少钱

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    2023-10-31

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对于硅和二氧化硅体系,采用cf4-o2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。产品经除尘,碱洗除去hf、cof2、sif4、co2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去o2、n2、h2,得到高纯cf4。因为四---碳和四---1硅都是共价化合物,然而碳氟键的键能远远大于硅氟键的键能,键长也是前者短得多,所以四---碳的热稳定性---。







随着芯片制程向7纳米迈进,细微杂质对芯片的损害更为明显,四---碳,电子产业对高纯电子气体的纯度要求进一步提高,在此背景下,我国高纯四---碳生产技术与产品仍有提升空间。四---碳是一种卤代烃,化学式cf4。它既可以被视为一种卤代烃、全---碳,也可以被视为一种无机化合物。零下198 °c时,四---碳具有单斜的结构,四---碳价钱,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1?nm), β = 118.73° 。高纯四---碳在常温常压条件下化学性质稳定,高纯四---碳是一种高纯电子气体,在电子产业中需求量大。



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