合肥特种气体-安徽谱纯

 特种气体 spe---lily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。在半导体制造过程中涉及的材料众多，在半导体集成电路的生产过程中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体，特种气体，因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。对特气的危害性进行分析，通过本质安全设计，消除安全---。根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和---测漏，---系统密闭性。

 电子工业是当今推动科技发展的---产业，由于所用气体的品种多、要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。为了提高气体稳定性和保质期，天然1气公司已经开发出各种技术，以1小化任何局部活性位点在铝气瓶中催化表面的潜在效力，然后再填充特种气体。工业上，把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小，但根据不同的用途。