




随着芯片制程向7纳米迈进,细微杂质对芯片的损害更为明显,电子产业对高纯电子气体的纯度要求进一步提高,在此背景下,我国高纯四---碳生产技术与产品仍有提升空间。四---碳是一种卤代烃,化学式cf4。它既可以被视为一种卤代烃、全---碳,高纯四---碳,也可以被视为一种无机化合物。零下198 °c时,四---碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1?nm), β = 118.73° 。高纯四---碳在常温常压条件下化学性质稳定,高纯四---碳是一种高纯电子气体,在电子产业中需求量大。
高纯四---碳是纯度在99.999%以上的四---碳产品,是一种无色无味气体。高纯四---碳不可燃烧,高纯四---碳厂家,在常温常压条件下化学性质稳定,在密闭容器中遇高热有危险,不溶于水,可溶于---、等部分溶剂。常温常压下稳定,避免---、可燃物。不燃气体,遇高热后容器内压增大,有开裂、炸危险。化学性质稳定,不燃。常温下只有液氨-试剂能发生作用。高纯四---碳在常温常压条件下化学性质稳定,高纯四---碳是一种高纯电子气体,在电子产业中需求量大。
四---1碳一般认为是惰性低毒物质,乌鲁木齐四---碳,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯1化碳。四氯1化碳与氟1---的反应在填有氢1氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分经精馏而得成品。预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,高纯四---碳厂,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应。


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