高纯特种气体-安徽谱纯 安全----唐山特种气体

   自80年代1开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达水平相近。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。包装标志：有毒气体。常温下，干氯不腐　蚀钢｛但在水和湿气存在时，特种气体厂，由于生成---和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无　水，管路、阀门和容器不用时应密封或加帽，从而与---中的湿气隔离

 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。目前，唐山特种气体，国内共有特种气体生产企业达150余家，电子特种气体，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。