




目前,国内共有特种气体生产企业达150余家,多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司,占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。有---气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记(例如、、有毒等) 。
特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,特种气体供应商,另一类为混合气体。对于单元高纯气体,根据现已收集到的文献,汇总起来共有227种,可分成五个类别。有---气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记(例如、、有毒等) 。 包装标志:有毒气体。常温下,干氯不腐 蚀钢{但在水和湿气存在时,由于生成---和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水,特种气体公司,管路、阀门和容器不用时应密封或加帽,从而与---中的湿气隔离。
自80年代1开始,我国的气体工业迅速发展,各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世,其品种数目已与国外发达水平相近。硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。包装标志:有毒气体。常温下,特种气体厂,干氯不腐 蚀钢{但在水和湿气存在时,合肥特种气体,由于生成---和次氯酸。所以呈强腐蚀性应保持设备中无 水,管路、阀门和容器不用时应密封或加帽,从而与---中的湿气隔离
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