对于硅和二氧化硅体系，采用cf4-o2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。产品经除尘，碱洗除去hf、cof2、sif4、co2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去o2、n2、h2，得到高纯cf4。因为四---碳和四---1硅都是共价化合物，四---碳供应，然而碳氟键的键能远远大于硅氟键的键能，键长也是前者短得多，杭州四---碳，所以四---碳的热稳定性---。
四---碳在不同的---压下呈现的状态是不同的，就像氧气在101kpa时会呈现出液态。四---碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，发挥性较高.四---碳一般认为是惰性低毒物质，在高浓度下是窒息剂，其毒性不及四1氯化碳。产品经除尘，碱洗除去hf、cof2、sif4、co2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去o2、n2、h2，四---碳，得到高纯cf4。
目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的---内，四---碳批发，小白鼠仍可安全脱险。相对分子量88.00。在常温下，四---碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是稳定的有机化合物之一，不易溶于水。四---碳，又称为四氟甲1烷、freon-14及r 14，是一种卤代烃(化学式:cf4)。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲1烷、全---碳，也可以被视为一种无机化合物。
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