在半导体制造业中，可以把气体分成大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如n2、h2、o2、ar、he等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积，扩散等过程中使用的各种化学气体，如高纯nf3、sih4、wf6、hcl、c4f6、cl2、nh3、cf4、sf6、ph3、ash3、bcl3、bf3、b2h6、c2f6、c3f8、c4f8、n2o等，又可称为电子特种气体。电子工业是当今推动科技发展的---产业，由于所用气体的品种多、要求高，为有别于其它领域应用的气体。
特种气体的介绍
主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，特种气体厂，通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。
应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。
特种气体在进样中的注意事项
样品气的置换，由于特种气都要经过减压器和管线后才能取样，要准确取样必须将减压器和管线进行充分的置换，特种气体价格，这种置换不是简单---的吹扫。因为减压器的死体积很大，南京特种气体，不断将钢瓶阀打开关闭反复3次以上，特种气体生产厂家，每次将减压器里的气体排尽，然后再吹扫系统才能正确取样。进样管线的气密性，进样管线的泄漏，对样品的数据的准确性有很大影响，对低浓度氧气的影响。所以一定要严格检查取样管线的气密性。
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