




含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速cf4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。四---1碳是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四---1碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。将其通过装有氢1氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟1化硅,随后通过硅胶和五氧1化二磷干燥塔得到终产品。由于化学稳定性极强,cf4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
对于硅和二氧化硅体系,采用cf4-o2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。四---碳的热稳定性---。化合物的热稳定性主要与化学键的键能及键长有关。零下198 °c时,四---碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597,批发四---碳, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。四---碳是可作为氟和自由基---碳的来源,用于各种晶片蚀刻工艺。四---碳和氧结合用以蚀刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。
四---碳的热稳定性---。化合物的热稳定性主要与化学键的键能及键长有关。零下198 °c时,四---碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm),批发高纯四---碳, β = 118.73° 。四---碳的溶氧性---,因此被科学家用于超---潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的---内,小白鼠仍可安全脱险。四---碳在900℃时,北京四---碳,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,四---碳批发,在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒---物。
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